机器型号：                                   EUV-600V

光源类型：                                   UV光

灯管规格 / 数量：                       20W / 3

曝光时间：                                    0 ~ 10 min

真空度：                                        ≤－0.7bar

晒板面积（最大）：                    600×200 mm（厚度0.3 ~ 10 mm）

电源：                                            220 ~ 240V  50 / 60Hz  150W

机器尺寸：                                    750×415×145 mm

机器重量：

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